产品概述
固定式三氟化氮检测报警器是微电子等行业用来检测环境中的三氟化氮气体浓度的仪器,三氟化氮常温下为无色气体,不溶于水、是一种强氧化剂,在微电子行业中用作等离子蚀刻气体,也可用作高能燃料。三氟化氮有毒,在使用时需要注意监测环境中的三氟化氮浓度变化,一旦发生泄漏报警器能在第一时间发出报警信号。
产品技术参数
检测气体:三氟化氮NF3
产品型号:ERUN-PG51-NF3
分辨率:0.01ppm
检测原理:电化学、催化燃烧、红外等
检测精度:≤±3%F.S;重复性:≤±2%
线性度:≤±2%;不确定性:≤±2%
响应时间:T90≤20秒;恢复时间:≤30秒
信号输出:总线制RS485信号,分线制4~20mA;选配:0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、无线传输、网络传输、短信报警
工作电压:12~30VDC直流电,单台设备的标准电源为24V、1A或大于1A直流电
报警方式:默认1路,可选2路无源接触点(干节点)输出,三级报警,报警点可设置现场声光报警
防护等级:IP65防水防尘
防爆功能:ExdllCT6Gb;隔爆型
界面语言:默认中文,中英文可选
显示屏:1.7高清彩屏
显示方式:单通道显示
安装方式:管道式、壁挂式
工作方式:在线扩散式/管道式检测。选配:泵吸式/流通式
报警模式:低报警、高报警、区间报警
校准功能:零点自动跟踪、目标点多级校准
误操作识别:自动识别并阻止
数据恢复:全部恢复,选择性恢复(浓度、报警、全部)
日志记录:校准日志、维修日志、故障记录、故障解决对策
工作环境:温度-40℃~+70℃、湿度0-99%RH
重量:1.5KG
预处理(选配):常温高湿预处理系统、高温高湿度预处理系统、高温高湿高粉尘预处理系统
此款仪器采用固定安装的方式、通过传感器将气体浓度信号转化为电信号,内部传感器采用国际进口品牌,响应速度快、检测结果准确、寿命长、性能稳定。高清彩色显示屏,能够清晰准确显示浓度、时间等参数。
三氟化氮会属低毒物质,对眼睛、皮肤、黏膜等都有刺激性,吸入高浓度的三氟化氮会引起头痛、呕吐或者腹泻、长期吸入低浓度的三氟化氮还会损伤牙齿和骨骼。危险性比较强,在三氟化氮的存储库房、使用和生产车间可使用固定式三氟化氮检测报警器来监测浓度变化。